Home / Каталог по автоматизації / СПЕКТРОМЕТР електронів Оже типу ЕСО-3

СПЕКТРОМЕТР електронів Оже типу ЕСО-3

Опис

Спектрометр (рис. 61) призначений для прикладних науково-дослідних робіт у фізиці, хімііі, матеріалознавстві, напівпровідникової і



Рис. 61. Спектрометр електронів типу ЕСО-3


електровакуумної техніці і виробництві особливо чистих матеріалів в умовах лабораторії.


Принцип дії приладу заснований на вимірюванні енергетичних спектрів вторинних електронів. Структурна схема спектрометра наведена на рис. 62. Спектрометр має вісім модифікацій: чотири-з вакуумною системою; чотири-вбудовуються в вакуумну систему споживача (з них дві-з ЕОМ, дві-без ЕОМ).


Технічні характеристики


Енергетичне дозвіл, виміряний на пружному піку, не більше 0,3%. Найбільший діаметр пучка електронної гармати не більше 5 мкм. Ставлення подвійний амплітуди Оже піку срібла з номінальним значенням 562-10 ‘ 19 Дж (351 еВ) не менше 40: 1 при первинному струмі 0 , 3 мкА, енергії первинних електронів 8000-10 ‘ 19 Дж (5000 еВ). Граничне ос —


про __

таточность тиск 6,5-10 ‘Па. Кількість режимів спостережень зразка в растрі 3. Найбільша щільність струму іонів на поверхні зразка 1 • 10 ‘А / см. Діапазон вимірюваних енергій електронів 40 … 5000 еВ. Харчування-від мережі змінного струму напругою 380/220 В, частотою 50 Гц. Споживана потужність 20 кВ-А. Габаритні розміри: стійки управління вакуумною системою 575х680х1800 мм, вимірювальної стійки 800х580х1800 мм, телевізійної стійки 800х580х1800 мм, спектроскопічного пристрої 1540х890х1500 мм. Маса, відповідно, 300, 300, 300 і 500 кг.


Можливість безвідмовної роботи протягом 1000 год не менше 0,85. Термін служби 8 років. Гарантійний термін служби 18 міс.


Умови експлуатації: температура навколишнього середовища 10 … 35 ° С, відносна вологість 80%.


Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *